65.305.47(2Р) М 55     Механик, А.     Сложить нанопасьянс [Текст] : [создание фотолитографического оборудования в России даёт шанс стать мировым лидером в его производстве] / А. Механик // Эксперт. - 2012. - №4. - С. 50-57 : фот.,рис. ББК 65.305.47(2Р) + 32.844.1 Рубрики: РОССИЯ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА -- ЭЛЕКТРОНИКА -- ЛИТОГРАФИЯ -- фотолитография -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- 21 В -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- ЭКОНОМИКА -- ПРОМЫШЛЕННОСТЬ -- ЭЛЕКТРОННАЯ -- НАНОТЕХНОЛОГИЯ -- ВЫСОКИЕ ТЕХНОЛОГИИ