32.84    М 59         Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники [Текст] : учеб. пособие для вузов / А. А. Сазонов, Р. В. Корнилов, Н. П. Кохан и др. ; под ред. А. А. Сазонова. - М. : Радио и связь, 1988. - 263 с. : ил. - Библиогр.: с. 258.-Предм. указ.: с. 259-261. - ISBN 5-256-00143-4 (в пер.) : 0.90 р.ББК 32.844 Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА -- РАДИОЭЛЕКТРОНИКА -- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА -- РАДИОАППАРАТУРА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- МИКРОСХЕМА -- ИНТЕГРАЛЬНАЯ -- ПРОИЗВОДСТВО -- АВТОМАТИЗАЦИЯ -- ПРИБОРОСТРОЕНИЕ -- ИЗУЧЕНИЕ В ВУЗЕ Аннотация: Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя. Для студентов вузов приборостроительных специальностей. Доп.точки доступа: Сазонов, А. А.; Корнилов, Р. В.; Кохан, Н. П.; Кузнецов, М. Н.; Поддубный, Е. В.; Сазонов, А. А. \ред.\ Экземпляры всего: 3 ф10 (3) Свободных экз. нет