32.85    К 93     Курносов, А. И.     Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [Текст] : учеб. пособие для вузов / А. И. Курносов, В. В. Юдин. - 3-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1986. - 368 с. : ил. - Библиогр.: с. 363.-Предм. указ.: с. 364-365. - (в пер.) : 1.30 р.ББК 32.85 Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА -- РАДИОЭЛЕКТРОНИКА -- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА -- ПРИБОР -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ПРОИЗВОДСТВО -- ИЗУЧЕНИЕ В ВУЗЕ Аннотация: В книге рассмотрены основные технологические процессы производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. В 3-е издание (2-е — в 1979 г.) введены новые разделы, посвященные технологическим процессам радиационной обработки материалов и приборов, новейшим конструкциям корпусов интегральных микросхем, а также полупроводниковым материалам. Доп.точки доступа: Юдин, В. В. Экземпляры всего: 3 ф2 (1), ф10 (2) Свободных экз. нет